半導体生産設備の稼動率改善VECアプローチ

論文

半導体製造用生産設備は非常に高価なため、出来るだけ設備を休めずに、動かす時間の割合を大きくすべく使い方の工夫をして、一枚当たりのウエーハの償却費などを小さくする事が大切である。そのためには、設備の稼動率を出来るだけ大きくし、一枚当たりの処理時間を出来るだけ小さくすることが必要である。またライン全体の処理能力改善を出来るだけ時間的にも、経済的にも効率的に行うには改善の順序を決めることが必要である。

目次

• 1. スループット向上VEC手法
• 2. 対象の選定
• 3. 機能分析
• 4. 現状分析
• 4.1 不良分析
• 4.2 不稼動分析
• 4.3 有効稼動分析
• 4.4 速度率分析
• 5. 情報収集～提案とフォローアップ

発行年

著者

株式会社日立製作所
武蔵工場VECセンタ

長野谷青史

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